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发布时间:2021-12-21 09:11:00 作者:北京北醒
为什么产生“混合固态”的概念呢?
因为MEMS扫描镜是一种硅基半导体元器件,属于固态电子元件;但是MEMS扫描镜并不“安分”,内部集成了“可动”的微型镜面;由此可见MEMS扫描镜兼具“固态”和“运动”两种属性,故称为“混合固态”。可以说,MEMS扫描镜是传统机械式LiDAR的革新者,带领LiDAR小型化和低成本化。其取消了机械式激光雷达的机械旋转结构,利用MEMS微振镜,将所有的机械部件集成到单个芯片,利用半导体工艺生产。基于MEMS的固态雷达,是通过微振镜的方式改变单个发射qi的发射角度进行扫描,由此形成一种面阵的扫描视野。目前基于MEMS方式的激光雷达,技术上更容易实现,且价格也比较低廉,有很多的厂家在研发,也因此被主机厂商一致看好。
利用激光雷达脉冲波的穿透,可以探索森林领域。通过分析脉冲波的回波波形数据,可以得到森林地形的三维结构,可以估算森林高度?冠层结构等重要参数,估算森林生物量,可以找到地下墓冢?建筑等,用于其他林业研究。考古研究提供基本数据。激光雷达定向强角分辨率高?短工作波,可测量距离、速度、角度等参数,且空间无大气衰减和散射,激光光量为、重量小、能耗低,在太空部门也在发展。在过去的十年中,激光雷达已被广泛应用于航天器领域,如星际激光测量仪器?航天器对接和着陆导航、飞机成像。
固态激光雷达的优劣
①其结构简单,尺寸小,无需旋转部件,在结构和尺寸上可以大大压缩,提高使用寿命并使其成本降低。
②扫描精度高,光学相控阵的扫描精度取决于控制电信号的精度,可以达到千分之一度量级以上。
③可控性好,在允许的角度范围内可以做到任意指向,可以在重点区域进行高密度的扫描。
④扫描速度快,光学相控阵的扫描速度取决于所用材料的电子学特性,一般都可以达到 MHz 量级。
MEMS
MEMS振镜用于激光雷达系统,需要具备大孔径以满足激光雷达分辨力等需求。静电驱动7mm直径尺寸的双轴可偏转MEMS振镜,采用简单易行的飞行时间(time of flight,TOF)的测距方法,测量了距离0.5m至80m的目标,视场角30°,扫描频率550Hz。如图5所示,为进一步提高LiDAR光学口径,采用2×7的微振镜阵列,等效综合口径334mm,填充因子80%,其中发射端信号是一维扫描的强度调制连续波,接收端是大孔径的振镜组,扫描角度60°,扫描频率250Hz。单个微振镜可以做到20mm的直径尺寸,实验验证在两个轴上均可以达到7.2°的光束扫描角度,压电驱动MEMS的谐振频率在1kHz左右,100W的激光能量没有对MEMS镜面产生破坏。
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